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一种配气系统

更新时间:2016-07-05

申请(专利):201720093028.3

公开(公告):2017-09-05

申请(专利权):江西省华东特种气体有限公司 江西华特电子化学品有限公司

摘要:一种配气系统,包括第一原料瓶、第二原料瓶、控制柜、电子秤、成品气瓶、加压气瓶、真空泵、真空表、第一原料表和第二原料表;第一原料瓶、第二原料瓶和成品气瓶之间通过管道连接,第二原料瓶和加压气瓶之间通过管道连接,第一原料瓶的输出端与成品气瓶的输入端连接;第二原料瓶的输出端与成品气瓶的输入端连接;第一原料瓶的输出端设有第一控制阀和第一排放阀;本实用新型通过所述电子秤对有比例要求的成品气体进行精确配置,通过所述真空泵能够处理所述管道及成品气瓶的杂质,装置管道采用抗吸附、抗腐蚀的不锈钢材料,保证了装置内部的洁净度,整个过程下来,使得最终配出的混合气体的准确度高、产品质量稳定。

《低温与特气》 2018年第02期
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